Verfahren zum Reinigen eines Satzes von Strukturen aus Yttriumoxid in einem Plasmabehandlungssystem
EP1667850
Art A2
14. Juni 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1667850
- Aktenzeichen
- EP04784321
- Anmeldetag
- 16. September 2004
- Veröffentlichung
- 14. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/16C23G1/02C23F17/00C23C16/44C23F15/00C23G1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
Patente gesamt
33
Fachgebiete
31
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Stuttard, Garry Philip
Urquhart-Dykes & Lord LLP · Leeds