Erfassung von Verunreinigungen in einem durch eine Vakuumpumpe Gepumpten Fluid

EP1668253 Art B1 7. Mai 2008

Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1668253
Aktenzeichen
EP04768529
Anmeldetag
16. September 2004
Veröffentlichung
7. Mai 2008
Erteilung
7. Mai 2008
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04B37/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Limited
The BOC Group plc
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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