System und Verfahren zur Verwendung einer Simulation aus Ersten Prinzipien zur Analyse eines Prozesses, der durch ein Halbleiterbearbeitungswerkzeug Durchgeführt Wird

EP1668558 Art A2 14. Juni 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1668558
Aktenzeichen: EP04788578
Anmeldetag: 22. September 2004
Veröffentlichung: 14. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G06F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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