Optische Partikelsysteme und Anordnungen und Optische Partikelkomponenten für Solche Systeme und Anordnungen
EP1668662
Art B1
31. Oktober 2012
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Applied Materials Israel, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1668662
- Aktenzeichen
- EP04783363
- Anmeldetag
- 7. September 2004
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2012
- Erteilung
- 31. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/147H01J37/28H01J37/153H01J37/09H01J37/12H01J37/317B82Y10/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Applied Materials Israel
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schorr, Frank Jürgen
München, Deutschland
448
Patente gesamt
29
Fachgebiete
11
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Weitere Vertreter
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