Belichtungsverfahren und -Vorrichtung und Bauelemente-Herstellungsverfahren
EP1670041
Art A1
14. Juni 2006
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1670041
- Aktenzeichen
- EP04786428
- Anmeldetag
- 25. August 2004
- Veröffentlichung
- 14. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20G02B7/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
5.286 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Schmidt, Karsten
München, Deutschland
375
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Amery, Marcus James
NoneMünchen