Verfahren zur Trennung von Chips

EP1670055 Art A1 14. Juni 2006

Anmelder: IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC) 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1670055
Aktenzeichen
EP04447271
Anmeldetag
9. Dezember 2004
Veröffentlichung
14. Juni 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM vzw (IMEC)
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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