Halbleiterbauelement, Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelemente, Herstellungsvorrichtung für Halbleiterbauelemente und Computer-Aufzeichnungsmedium

EP1670060 Art A1 14. Juni 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1670060
Aktenzeichen: EP04788006
Anmeldetag: 22. September 2004
Veröffentlichung: 14. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L27/108H01L27/04H01L21/8242H01L21/822

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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