Filter für Reaktives Gas
EP1670566
Art A1
21. Juni 2006
Anmelder: Entegris, Inc., Extraction Systems, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1670566
- Aktenzeichen
- EP04783070
- Anmeldetag
- 2. September 2004
- Veröffentlichung
- 21. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D46/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
Extraction Systems, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
Greenwood, John David
Sevenoaks, Großbritannien
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15
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