Photolackbeschichtungsverfahren für die Mikrolithographie

EP1671186 Art A2 21. Juni 2006

Anmelder: NORTHROP GRUMMAN CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1671186
Aktenzeichen
EP04757204
Anmeldetag
23. Juli 2004
Veröffentlichung
21. Juni 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NORTHROP GRUMMAN CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Northrop Grumman

US-amerikanischer Rüstungs- und Luftfahrtkonzern mit Sitz in Virginia, tätig in den Bereichen Verteidigungselektronik, Flugzeugbau, Raumfahrt und Cybersicherheit.

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