Verfahren und System zum Behandeln eines Dielektrischen Films

EP1671360 Art A2 21. Juni 2006

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1671360
Aktenzeichen: EP04793890
Anmeldetag: 7. Oktober 2004
Veröffentlichung: 21. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/58H01L21/4763H01L21/469H01L21/31H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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