Verfahren zur elektrochemischen Abtragung von Refraktärmetallen oder -legierungen und Verwendung einer Lösung zur Durchführung dieses Verfahrens

EP1672101 Art B1 11. Mai 2011

Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1672101
Aktenzeichen: EP05026427
Anmeldetag: 3. Dezember 2005
Veröffentlichung: 11. Mai 2011
Erteilung: 11. Mai 2011
Rechtsraum: EP
IPC: C25F3/08H01L21/321B24B37/04C25F3/26B23H5/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Karlsruher Institut für Technologie
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Karlsruher Institut für Technologie

Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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