Einrichtung zur Steuerung des Kammerinnendrucks und Kammer des Innendruckgesteuerten Typs
EP1672457
Art A1
21. Juni 2006
Anmelder: Fujikin Incorporated, Ohmi, Tadahiro, FUJIKIN INCORPORATED, OHMI, Tadahiro 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1672457
- Aktenzeichen
- EP04817112
- Anmeldetag
- 14. September 2004
- Veröffentlichung
- 21. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fujikin Incorporated
Ohmi, Tadahiro
FUJIKIN INCORPORATED
OHMI, Tadahiro - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Fachgebiete
Vertreten von
Hector, Annabel Mary
London, Großbritannien
246
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28
Fachgebiete
12
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Schwerpunkte