Belichtungsgerät, Substrattrageverfahren, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1672681 Art B8 21. September 2011

Anmelder: Miyagi Nikon Precision Co., Ltd., NIKON CORPORATION, ZAO NIKON CO., LTD., Zao Nikon Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1672681
Aktenzeichen: EP04792152
Anmeldetag: 7. Oktober 2004
Veröffentlichung: 21. September 2011
Erteilung: 21. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Miyagi Nikon Precision Co., Ltd.
NIKON CORPORATION
ZAO NIKON CO., LTD.
Zao Nikon Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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