Substrat-Transportvorrichtung und -Verfahren, Belichtungsvorrichtung und -Verfahren und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements

EP1672682 Art A1 21. Juni 2006

Anmelder: ZAO NIKON CO., LTD., Nikon Corporation, Zao Nikon Co., Ltd., NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1672682
Aktenzeichen: EP04792214
Anmeldetag: 8. Oktober 2004
Veröffentlichung: 21. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/67H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ZAO NIKON CO., LTD.
Nikon Corporation
Zao Nikon Co., Ltd.
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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