Herstellung von luftgefüllten tiefen Gräben und verwandte Anwendungen
EP1672687
Art A1
21. Juni 2006
Anmelder: IMEC VZW, IMEC, INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1672687
- Aktenzeichen
- EP05447015
- Anmeldetag
- 2. Februar 2005
- Veröffentlichung
- 21. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/764H01L21/8249H01L27/06
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
IMEC
INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM ( IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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