Herstellung von luftgefüllten tiefen Gräben für eine dreidimensionale Wafer/Wafer-Verbindung
EP1672688
Art A1
21. Juni 2006
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1672688
- Aktenzeichen
- EP05447284
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 21. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L21/764H01L27/06H01L21/822H01L23/522H01L23/532
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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