Verfahren zur Herstellung keramischer Dickschichtelement-Arrays mit feiner Strukturgrösse, hochpräziser Definition und/oder hohen Aspektverhältnissen

EP1672712 Art B1 24. Februar 2010

Anmelder: Palo Alto Research Center Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1672712
Aktenzeichen: EP05112474
Anmeldetag: 20. Dezember 2005
Veröffentlichung: 24. Februar 2010
Erteilung: 24. Februar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L41/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Palo Alto Research Center Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Palo Alto Research Center

US-amerikanisches Forschungsinstitut in Palo Alto, bekannt als PARC, das für Xerox und externe Auftraggeber Grundlagen- und angewandte Forschung in Informatik, Elektronik und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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