Vorrichtung für die Beschichtung eines Substrats

EP1672715 Art A1 21. Juni 2006

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1672715
Aktenzeichen
EP04029928
Anmeldetag
17. Dezember 2004
Veröffentlichung
21. Juni 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L51/40C23C14/24F16K11/056
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Buchhold, Jürgen Frankfurt am Main, Deutschland
341
Patente gesamt
31
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Kunststoff- & Polymertechnik Hochbau & Gebäudetechnik Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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