Photoabbildbare Polymere mit Niedriger Polydispersion und Photoresists und Prozesse für die Mikrolithographie

EP1673662 Art A1 28. Juni 2006

Anmelder: Commonwealth Scientific and Industrial Research Organisation, E.I. DUPONT DE NEMOURS AND COMPANY 🇦🇺

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1673662
Aktenzeichen
EP04784904
Anmeldetag
22. September 2004
Veröffentlichung
28. Juni 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004C08F220/10C08F220/22C08F232/00C08F2/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commonwealth Scientific and Industrial Research Organisation
E.I. DUPONT DE NEMOURS AND COMPANY
Land
🇦🇺 Australien
🇦🇺 CSIRO

Australische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Canberra, tätig in einem breiten Spektrum wissenschaftlicher Disziplinen von Agrarwissenschaft über Materialforschung bis Astronomie.

859 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 DuPont

US-amerikanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Wilmington, Delaware. DuPont entwickelt Spezialchemikalien, Polymere, Elektronikmaterialien sowie Werkstoffe für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Gesundheitswesen.

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