Vorrichtung und Verfahren zum Kühlen von Substraten

EP1674591 Art A1 28. Juni 2006

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1674591
Aktenzeichen: EP05020417
Anmeldetag: 20. September 2005
Veröffentlichung: 28. Juni 2006
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/58C23C16/56C23C2/28C23C4/18C23C8/80C23C10/60C23C14/56C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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