Elektrostatische Klemme mit einer eingebauten Heizung
EP1675160
Art B1
4. Juni 2008
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1675160
- Aktenzeichen
- EP05027533
- Anmeldetag
- 15. Dezember 2005
- Veröffentlichung
- 4. Juni 2008
- Erteilung
- 4. Juni 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Fachgebiete
Kanzlei
Patentanwaltskanzlei Müller
München, Deutschland
Aus der 2006 mitbegründeten Sozietät Müller & Schubert hervorgegangene Münchner Kanzlei, seit 2020 Teil der Bürogemeinschaft emescon. Betreut Mandate aus Maschinenbau, Kunststofftechnik, Optik, IKT sowie erneuerbaren Energien.
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