Mehrschichtiger Filmreflexionsspiegel, Herstellungsverfahren für einen Mehrschichtigen Filmreflexionsspiegel und Belichtungssystem
EP1675164
Art B2
3. Juli 2019
Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1675164
- Aktenzeichen
- EP04792501
- Anmeldetag
- 15. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2019
- Erteilung
- 3. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F7/20G21K1/06G02B5/08G02B5/26G02B5/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Volpert, Marcus
München, Deutschland
227
Patente gesamt
29
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München