Halbleitersubstrat, Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats

EP1675169 Art A1 28. Juni 2006

Anmelder: TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1675169
Aktenzeichen
EP04792014
Anmeldetag
4. Oktober 2004
Veröffentlichung
28. Juni 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L27/12H01L29/786H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.

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