Prozess zur Herstellung eines Hochresistivitaets-Siliziumwafers und Prozess zur Herstellung eines Epitaxialwafers und Soi-Wafers
EP1677344
Art B1
6. November 2013
Anmelder: SUMCO Corporation, Sumco Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1677344
- Aktenzeichen
- EP04748184
- Anmeldetag
- 2. August 2004
- Veröffentlichung
- 6. November 2013
- Erteilung
- 6. November 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/322C30B29/06H01L27/12H01L21/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SUMCO Corporation
Sumco Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Vertreten von
Adam, Holger
München, Deutschland
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Albrecht, Thomas
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