Optische Vorrichtung für die Photolithographie
EP1678559
Art A1
12. Juli 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1678559
- Aktenzeichen
- EP03782454
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 12. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Kanzlei
Lorenz & Kollegen
Heidenheim, Deutschland
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.
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