Optische Vorrichtung für die Photolithographie
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1678559
- Aktenzeichen
- EP03782454
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2003
- Veröffentlichung
- 12. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.