Verfahren zum Selbstunterstützten Transfer einer Feinen Schicht durch Pulsation nach Implantierung oder Coimplantierung

EP1678754 Art B1 15. Juli 2015

Anmelder: Soitec, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1678754
Aktenzeichen
EP04805334
Anmeldetag
28. Oktober 2004
Veröffentlichung
15. Juli 2015
Erteilung
15. Juli 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
Vertreten von
Casadewall, Barbara Paris, Frankreich
3
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
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