Verfahren zum Katastrophischen Transfer einer Dünnen Schicht nach Coimplantation

EP1678755 Art B1 17. Oktober 2012

Anmelder: Soitec, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1678755
Aktenzeichen
EP04805336
Anmeldetag
28. Oktober 2004
Veröffentlichung
17. Oktober 2012
Erteilung
17. Oktober 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich

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