Silanverbindung, Polysiloxan und Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung

EP1679314 Art A1 12. Juli 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1679314
Aktenzeichen
EP04792382
Anmeldetag
14. Oktober 2004
Veröffentlichung
12. Juli 2006
Rechtsraum
EP
IPC
C07F7/18C08G77/14G03F7/075G03F7/039H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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