Verfahren und Materialien zur Herstellung von Monolitischen Porösen Polierkissen, Aufgegossen auf eine Rotierende Basis
EP1680260
Art B1
30. April 2014
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1680260
- Aktenzeichen
- EP04778057
- Anmeldetag
- 13. Juli 2004
- Veröffentlichung
- 30. April 2014
- Erteilung
- 30. April 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24D5/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Gambell, Derek
Sevenoaks, Großbritannien
362
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18
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