Metalldünnfilmchipherstellungsverfahren und Metalldünnfilmchipherstellungsvorrichtung
EP1681369
Art A1
19. Juli 2006
Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1681369
- Aktenzeichen
- EP04788317
- Anmeldetag
- 29. September 2004
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/58C23C16/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Japan Science and Technology Agency
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Japan Science and Technology Agency
Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.
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Vertreten von
Bentz, Jean-Paul
Paris, Frankreich
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