Plasmaverarbeitungsvorrichtung

EP1681715 Art A1 19. Juli 2006

Anmelder: Ohmi, Tadahiro, TOKYO ELECTRON LIMITED, OHMI, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1681715
Aktenzeichen: EP04818177
Anmeldetag: 2. November 2004
Veröffentlichung: 19. Juli 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32// C23C16/455H01L21/31H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ohmi, Tadahiro
TOKYO ELECTRON LIMITED
OHMI, Tadahiro
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von