Flüssigkeitsabgabe- und Rezirkulationssystem mit Sensor
Anmelder: ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1682960
- Aktenzeichen
- EP04796000
- Anmeldetag
- 21. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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Fachgebiete
Hargreaves Elsworth, unabhängige Kanzlei von Chartered und European Patent Attorneys mit Sitz in North Shields, gegründet 2002. Berät zu Patenten, Marken, Design, Urheberrecht sowie IP-Management und -Strategie, unter anderem vor dem Einheitlichen Patentgericht.