Linienätz-Rauhigkeitreduktion für die Grabenätzung
EP1683194
Art A2
26. Juli 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1683194
- Aktenzeichen
- EP04810317
- Anmeldetag
- 3. November 2004
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/4763
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
Patente gesamt
33
Fachgebiete
31
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Nunney, Ronald Frederick Adolphe
NoneHarrow