Filmabscheidungsvorrichtung mit Lochartiger Drehfilterplatte zum Abfangen von Feinen Teilchen und Filmabscheidungsverfahren
EP1683887
Art A1
26. Juli 2006
Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1683887
- Aktenzeichen
- EP04771528
- Anmeldetag
- 11. August 2004
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/28H01L21/203
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Japan Science and Technology Agency
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Japan Science and Technology Agency
Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.
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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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