Probenhalter und Ionenstrahlverarbeitungssystem

EP1684327 Art B1 21. November 2012

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1684327
Aktenzeichen
EP06250314
Anmeldetag
20. Januar 2006
Veröffentlichung
21. November 2012
Erteilung
21. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01N1/32H01J37/20G01N1/28H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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