Prozess zur Herstellung eines Silizium-Epitaxialwafers
EP1684335
Art A1
26. Juli 2006
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1684335
- Aktenzeichen
- EP04772140
- Anmeldetag
- 25. August 2004
- Veröffentlichung
- 26. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
Jones, Helen M.M
London, Großbritannien
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