Verfahren und Systeme zur Steuerung von Strahlungs-Strahleigenschaften für die Mikrolithographische Verarbeitung

EP1685445 Art B1 19. Dezember 2018

Anmelder: Micron Technology, Inc., MICRON TECHNOLOGY, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1685445
Aktenzeichen: EP04817439
Anmeldetag: 13. Oktober 2004
Veröffentlichung: 19. Dezember 2018
Erteilung: 19. Dezember 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Micron Technology, Inc.
MICRON TECHNOLOGY, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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