Aufnahme-Vakuumabscheidungsverfahren und Aufnahme-Vakuumabscheidungsvorrichtung

EP1686197 Art B1 13. April 2016

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1686197
Aktenzeichen
EP04818871
Anmeldetag
12. November 2004
Veröffentlichung
13. April 2016
Erteilung
13. April 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/56C23C14/14C23C14/02G11B5/85
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan

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