Größenmessvorrichtung

EP1686352 Art B8 24. Februar 2016

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd., Tosei Engineering Corp., TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1686352
Aktenzeichen
EP06250455
Anmeldetag
27. Januar 2006
Veröffentlichung
24. Februar 2016
Erteilung
24. Februar 2016
Rechtsraum
EP
IPC
G01D7/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Tosei Engineering Corp.
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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