Verfahren zur Erzeugung eines Mehrschicht-Resists

EP1686425 Art B1 13. Juni 2018

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1686425
Aktenzeichen: EP04818880
Anmeldetag: 15. November 2004
Veröffentlichung: 13. Juni 2018
Erteilung: 13. Juni 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C08F216/12C09D133/14G03F7/09G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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