Grössenmesssystem

EP1686553 Art A3 5. September 2007

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD., Tosei Engineering Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1686553
Aktenzeichen
EP06250456
Anmeldetag
27. Januar 2006
Veröffentlichung
5. September 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G08C17/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Tosei Engineering Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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