Aberrationsmessvorrichtung zum Messen von Aberrationen eines für Ladungspartikelstrahlenbündel vorgesehenen optischen Systems, lithographischer Apparat mit einer solchen Vorrichtung, und Verfahren zur Herstellung von Erzeugnissen mit einem solchen Apparat
EP1686609
Art B1
23. März 2011
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA, Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1686609
- Aktenzeichen
- EP06001639
- Anmeldetag
- 26. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 23. März 2011
- Erteilung
- 23. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CANON KABUSHIKI KAISHA
Hitachi High-Technologies Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
10.659 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
3.840 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Weser, Wolfgang
München, Deutschland
869
Patente gesamt
26
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte