Verfahren zur Einstellung der Aberrationen eines Apparats für die Teilchenstrahllithographie, Apparat für die Teilchenstrahllithographie, sowie Verfahren zur Herstellung von Produkten mit diesem Apparat
EP1686610
Art B1
23. März 2011
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA, Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1686610
- Aktenzeichen
- EP06001640
- Anmeldetag
- 26. Januar 2006
- Veröffentlichung
- 23. März 2011
- Erteilung
- 23. März 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01J37/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CANON KABUSHIKI KAISHA
Hitachi High-Technologies Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
10.659 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
3.840 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Weser, Wolfgang
München, Deutschland
869
Patente gesamt
26
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte