Verfahren und Vorrichtungen zur In-Situ-Substrattemperatur-Überwachung
EP1687600
Art A2
9. August 2006
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1687600
- Aktenzeichen
- EP04819532
- Anmeldetag
- 15. November 2004
- Veröffentlichung
- 9. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Browne, Robin Forsythe
NoneLeeds
-
Nunney, Ronald Frederick Adolphe
NoneHarrow