Verfahren zur Herstellung eines SOI Wafers

EP1688991 Art A3 8. August 2007

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1688991
Aktenzeichen
EP06002047
Anmeldetag
1. Februar 2006
Veröffentlichung
8. August 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762// C30B15/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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