Optisches Laserwärmeausglühsystem für Dünnfilmpolysilizium
EP1689552
Art B1
5. Oktober 2016
Anmelder: Cymer, LLC, TCZ LLC, TCZ PTE. LTD., TCZ GMBH 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1689552
- Aktenzeichen
- EP04810725
- Anmeldetag
- 12. November 2004
- Veröffentlichung
- 5. Oktober 2016
- Erteilung
- 5. Oktober 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/00B23K26/073
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Cymer, LLC
TCZ LLC
TCZ PTE. LTD.
TCZ GMBH - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cymer
Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.
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Lawrence, John
Birmingham, Großbritannien
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