Wafer-Behälter und Tür mit Schwingungsdämpfungs-Verriegelungsmechanismus
EP1690020
Art A2
16. August 2006
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1690020
- Aktenzeichen
- EP04810520
- Anmeldetag
- 8. November 2004
- Veröffentlichung
- 16. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D85/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Geyer, Werner, Dr.-Ing
München, Deutschland
167
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6
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