In Kohlendioxid Hergestellte, Abgelagerte, Entwickelte und Entfernte Fluorierte Photoresists
EP1690133
Art A1
16. August 2006
Anmelder: THE UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1690133
- Aktenzeichen
- EP04795825
- Anmeldetag
- 20. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 16. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03C1/73G03F7/039G03F7/20G03F7/30G03F7/32C08J7/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- THE UNIVERSITY OF NORTH CAROLINA AT CHAPEL HILL
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of North Carolina at Chapel Hill
US-amerikanische öffentliche Universität in North Carolina, eine der ältesten staatlichen Hochschulen der USA mit umfangreicher Forschung unter anderem in Medizin und Naturwissenschaften.
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Fachgebiete
Vertreten von
Horner, Martin Grenville
Glasgow, Großbritannien
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