Optisches Projektionssystem
EP1690139
Art B1
14. Januar 2009
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1690139
- Aktenzeichen
- EP04819629
- Anmeldetag
- 25. November 2004
- Veröffentlichung
- 14. Januar 2009
- Erteilung
- 14. Januar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B13/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schorr, Frank Jürgen
München, Deutschland
448
Patente gesamt
29
Fachgebiete
11
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Schwerpunkte