Optisches Projektionssystem

EP1690139 Art B1 14. Januar 2009

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1690139
Aktenzeichen
EP04819629
Anmeldetag
25. November 2004
Veröffentlichung
14. Januar 2009
Erteilung
14. Januar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G02B13/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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