Verfahren zum Ablagern von Siliziumcarbid und Keramischen Filmen
EP1690287
Art A2
16. August 2006
Anmelder: CASE WESTERN RESERVE UNIVERSITY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1690287
- Aktenzeichen
- EP04810481
- Anmeldetag
- 5. November 2004
- Veröffentlichung
- 16. August 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/04C23C16/32C23C16/52B81B3/00G02B26/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CASE WESTERN RESERVE UNIVERSITY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Case Western Reserve University
Case Western Reserve University ist eine private US-Universität mit Sitz in Cleveland, Ohio, mit starker medizinischer und naturwissenschaftlicher Forschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie organische Chemie und Mess-/Prüftechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Vertreten von
Neill, Alastair William
West, Großbritannien
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16
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